一種可以同時測量薄膜反射率、折射率、透射率的光學(xué)薄膜測厚儀

產(chǎn)品特征：
· 易于安裝
· 基于視窗結(jié)構(gòu)的軟件，很容易操作
· 的光學(xué)設(shè)計，以確保能發(fā)揮出 系統(tǒng)性能
· 基于陣列設(shè)計的探測器系統(tǒng)，以確?？焖贉y量
· 獨特的光源設(shè)計，有著較好的光源強度穩(wěn)定性
· 可測量5層的薄膜厚度和折射率
· 在毫秒的時間內(nèi)，可以獲得反射率、透射率和吸收光譜等一些參數(shù)
· 能夠用于實時或在線的厚度、折射率測量
· 系統(tǒng)配備大量的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)庫
· 對于每個被測薄膜樣品，用戶可以利用 的軟件功能選擇使用NK數(shù)據(jù)庫、也可以進(jìn)行色散或者復(fù)合模型（EMA）測量分析；  
· 可升級至MSP（顯微分光光度計）系統(tǒng)，SRM成像系統(tǒng)，多通道分析系統(tǒng)，大點測量。
· 通過模式和特性結(jié)構(gòu)直接測量。
· 提供的各種配件可用于特殊結(jié)構(gòu)的測量，例如通過曲線表面進(jìn)行縱長測量。
· 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數(shù)據(jù)管理界面。

系統(tǒng)配置
型號：SRT100
檢測器：雙通道CCD陣列的每個像素2048
光源：氘燈和高功率鹵素?zé)?
光傳輸：光纖
載物臺：黑色鋁合金樣品測量平臺輕松調(diào)整高度，100mmx100mm尺寸
通訊：USB
測量類型：薄膜厚度，反射光譜，透射光譜，折射率
軟件：TFProbe 2.3
電腦需要：常規(guī)配置
電源：110 - 240伏交流電/ 50 - 60Hz的，1.5A
保修：1年

產(chǎn)品規(guī)格
波長范圍：250nm到1100 nm
光斑尺寸：500μm至5mm
樣品尺寸：100mmx100mm
基板尺寸： 可至50毫米厚
測量厚度范圍*：5nm-50μm
測量時間：最快2毫秒
精確度：優(yōu)于0.5％（通過使用相同的光學(xué)常數(shù)，讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較）
重復(fù)性誤差*：小于1A

產(chǎn)品應(yīng)用:                 
半導(dǎo)體制造（PR，Oxide, Nitride..)
液晶顯示（ITO，PR，Cell gap... ..）
醫(yī)學(xué)，生物薄膜及材料領(lǐng)域等
油墨，礦物學(xué)，顏料，調(diào)色劑等
醫(yī)藥，中間設(shè)備
光學(xué)涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
半導(dǎo)體化合物
在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜
非晶體，納米材料和結(jié)晶硅